Solutions de tuyaux pour l'industrie des semi-conducteurs

APT Advanced Polymer Tubing, filiale du groupe Masterflex, a étendu son partenariat stratégique avec Chemours. Chemours est le fabricant de la marque Teflon™. Pour les clients de l’industrie des semi-conducteurs, cette collaboration associe la gamme de matériaux de Chemours à l’expertise d’APT en matière de transformation et d’application des fluoropolymères, notamment pour les solutions de tuyaux en PFA de haute pureté sur mesure. Le choix concret des matériaux et leur adéquation sont toujours évalués en fonction des exigences, des spécifications et des homologations propres à chaque processus.

Le groupe Masterflex assure la gestion de la qualité de ses solutions de tuyaux grâce à des processus de contrôle qualifiés et à des techniques de contrôle modernes. Les produits et les assemblages sont contrôlés régulièrement, selon un périmètre défini, afin de vérifier le respect des exigences applicables en matière de matériaux, de dimensions, de fabrication et de critères de qualité spécifiques à chaque projet. Pour les projets OEM, Tier 1 et de haute pureté, les exigences de contrôle, la documentation et les critères de validation sont définis en amont.

Pour les applications dans l'industrie des semi-conducteurs, les tuyaux en fluoropolymère tels que le PFA, le PTFE ou le FEP peuvent être envisagés. Le choix du tuyau adapté se fait en fonction du fluide de process, des exigences de pureté, de la température, de la pression, des contraintes mécaniques, de la configuration de montage et du type de raccordement.

Un tuyau en PFA destiné à l'industrie des semi-conducteurs peut s'avérer utile lorsque des produits chimiques de process ou des fluides ultra-purs sont acheminés et que des exigences élevées en matière de résistance des matériaux, de propreté et de sécurité des processus sont requises. La compatibilité du PFA avec une application spécifique est toujours évaluée en fonction des paramètres réels du processus et des spécifications du client.

Les tuyaux en PFA et en PTFE peuvent, sous réserve d'homologation technique, constituer des composants dans les systèmes de traitement par voie humide et de distribution de produits chimiques. Les interfaces typiques sont les raccordements entre le système d'alimentation en produits chimiques, les pompes, les filtres, les vannes et les modules de process. Pour la conception, les paramètres particulièrement importants sont le produit chimique, la concentration, la température, la pression et les exigences de pureté.

Pour concevoir une installation résistante, nous avons idéalement besoin d'informations concernant le fluide de process et sa concentration, la température, la pression de service, les dimensions, le rayon de courbure, le lieu d'utilisation, les exigences de pureté ainsi que le type de raccordement ou de montage souhaité. Pour les projets de série, le volume annuel, les spécifications de qualité, les besoins en documentation et la gestion des modifications sont également importants.

Les assemblages de flexibles sur mesure peuvent être adaptés à la configuration de montage, à la géométrie des flexibles et aux techniques de raccordement d'un projet OEM ou Tier 1. Avant de valider la production en série, il convient de définir conjointement les exigences techniques, les interfaces, les critères de contrôle et la documentation requise.

Dans les installations de semi-conducteurs, on utilise, en fonction du procédé, des solutions de tuyauterie pour l'air comprimé, le vide, les fluides de régulation de température, les liquides, les produits chimiques de procédé ou les suspensions. On peut citer, à titre d'exemple, le transport de l'air et des liquides dans les installations de lithographie, le transport de produits chimiques dans les installations de traitement humide, ainsi que les conduites de fluides dans les systèmes d'encapsulation et de test. Le choix des matériaux doit être validé au cas par cas, en fonction du procédé et des fluides concernés.

Outre les matériaux et les dimensions, les acheteurs doivent notamment tenir compte des spécifications, du milieu d'utilisation, des conditions de processus, du type de finition souhaité, des exigences de qualité, de l'étendue de la documentation, du processus de validation et des quantités prévues. Une concertation technique en amont permet de définir clairement le périmètre de la livraison, les interfaces et les exigences relatives à la production en série.

Le niveau de pureté et de propreté pouvant être atteint pour une solution de tuyaux dépend du matériau, du processus de fabrication, de la confection, de l'emballage ainsi que des exigences définies en matière de contrôle et de documentation. Pour les applications de haute pureté, les exigences spécifiques du client doivent être définies dès le début. Cela inclut, par exemple, les spécifications relatives aux particules, au dégazage, au nettoyage ou à l'emballage, dans la mesure où celles-ci sont pertinentes pour le projet concerné.

L'étendue de la documentation requise est convenue au cas par cas, en fonction du projet. Selon l’application, cela peut inclure des spécifications techniques, des informations sur les matériaux, des critères de contrôle, des documents de conformité, des données de lot ou de traçabilité, ainsi que des plans validés. Les documents disponibles et requis doivent être clairement définis avant le lancement de la production en série.

Le type d'assemblage possible dépend du matériau du tuyau, de ses dimensions, des conditions d'utilisation et de l'interface au sein du système. Les facteurs pertinents sont le type de raccordement, le concept d'étanchéité, l'espace disponible, les conditions de montage et les exigences en matière de nettoyage ou de remplaçabilité. La conception concrète doit donc être définie en collaboration avec les services de conception et de qualité.

La traçabilité (COA) est mise en œuvre via un processus défini spécifiquement pour chaque projet. Elle peut notamment inclure le marquage, l'attribution de lots, la documentation, le statut des contrôles ou des caractéristiques d'identification définies. L'étendue requise dépend de l'application, des processus d'assurance qualité et des spécifications du client.